میکروسکوپ الکترونی روبشی

در میكروسكوپ الكترونی روبشی (SEM) مانند میكروسكوپ الكترونی عبوری (TEM)، یك پرتو الكترونی به نمونه میتابد. منبع الكترونی (تفنگ الكترونی) معمولاً از نوع انتشار ترمویونیكی فیلامان یا رشته تنگستنی است اما استفاده از منابع گسیل میدان برای قدرت تفكیك بالاتر، افزایش یافته است...

در میكروسكوپ الكترونی روبشی (SEM) مانند میكروسكوپ الكترونی عبوری (TEM)، یك پرتو الكترونی به نمونه میتابد.

اجزاء اصلی و حالت كاری یك SEM ساده در شكل 5-2 در فایل پیوست که قابل دانلود می باشد ، نشان داده شده است.

منبع الكترونی (تفنگ الكترونی) معمولاً از نوع انتشار ترمویونیكی فیلامان یا رشته تنگستنی است اما استفاده از منابع گسیل میدان برای قدرت تفكیك بالاتر، افزایش یافته است معمولاً الكترونها بینKeV1-30 شتاب داده میشوند. سپس دو یا سه عدسی متمركزكننده پرتو الكترونی را كوچك میكنند، تا حدی كه در موقع برخورد با نمونه قطر آن حدوداً بین nm2-10 است.

جهت مطالعه متن کامل و دانلود فایل بر روی لینک زیر کلیک کنید.
فایل به صورت Word و ویرایش شده و دانلود کاملا رایگان می باشد.

جهت دانلود فایل word کلیک کنید.

برچسبها: میکروسکوپ الکترونی روبشی
بانک مقالات مهندسی مواد و متالورژی...